공학 대기압 플라즈마

공학 대기압 플라즈마

[공학] 대기압 플라즈마.pptx

목차 주제 선정 저온 열 플라즈마 대기압 플라즈마 현황 동향 본문 플라즈마 저온플라즈마 기술은 건식공정으로 간단할 뿐만 아니라, 초기 투자비용 저렴, 설치부지 감소, 기존 설비에 적용 용이 생성된 부산물(질소가스)의 농업용 비료로 재이용 등 장점. 저온 플라즈마의 가스온도는 배출가스의 온도이며, 전자의 온도만 높기 때문에 고온을 적용할 수 없는 재료나 조건에 적용할 수 있고 장치가 간단하다. ◈ 기존의 대기 처리 방법 * 연소법 * 화학 세정법 * 생물처리법 ◈ 개선된 처리 기술 * 플라즈마를 이용한 처리 기술 참고문헌 -저온 플라즈마를 이용한 화학반응공정기술 개발-송형근 -Korean Chemical Engineering Research, Vol.48, No.3, 355-358, 2010 -유도 결합형 저온 플라즈마 처리에 따른 폴리카보네이트 표면 특성 변화 -http://www.scienceall.com/ -한국반도체산업협회, 한국 반도체 산업의 현황 및 전망" -강기성,박태진,윤길중, 반도체 공학 , 한올출판사,p 55 ~76,1997 -박광순,여진경, 반도체 공학 , 학문사, p47,83~85, 1997 -국가핵융합 연구소 차세대 산업 기술과 플라즈마 -노태협 키워드 대기압, 플라즈마, 공학